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线性驱动
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产品概述 Product Overview
高精度全尺寸三维平移台可以使焊接波纹管在X, Y，Z三个方向上运动。采用直线导轨结构和高精度滚珠丝杆，结构强壮紧凑。配合伺服电机和光栅尺，可达到亚微米级精度。可与高精度DPRF搭配使用。该产品作为模块化产品， 多个配置可供选择。
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规格说明 Specification
● 工作气压：10-11 mbar~1 bar
● 局部波纹管部分烘烤120℃
● 采用SS316材料焊接的波纹管
● 通径：102mm
● 伺服电机驱动
● 采用直线导轨结构和高精度滚珠丝杆
● 光栅尺闭环反馈
● XYZ轴分辨率：0.2μm
● 上端安装法兰：CF法兰，通孔
● 下端安装法兰：CF法兰，通孔
● 上下法兰距离（Z零位）：410.5毫米
| A法兰直径 | B法兰直径 | XY行程 | Z行程 | ||
| 毫米 | 英寸 | 毫米 | 英寸 |
毫米 |
|
| 152 | 6 | 203 | 8 | ±12.5 | 可达650 |
产品尺寸 Dimension Drawing
视频 Video
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